Ионная модификация функциональных материалов : учебное пособие для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 210100 «Электроника и наноэлектроника», 200100 «Приборостроение»

В пособии изложены основные сведения о низкоразмерных полупроводниковых структурах, приведена их классификация в зависимости от функции плотности состояний, описан метод ионной модификации энергетического спектра электронных состояний и базовые физико-технические особенности оборудования, применяемого для таких целей. Пособие предназначено для студентов старших курсов вузов и аспирантов первого года обучения, работающих в области наук о материалах. Подготовлено кафедрами электрофизики и ФМПК Физико-технологического института Уральского федерального университета, лабораторией рентгеновской спектроскопии ИФМ УрО РАН и НОЦ НАНОТЕХ УрФУ.